塗布・蒸着・スパッタ工程向け膜厚測定
塗布、蒸着、スパッタなどの各種薄膜プロセスにおける膜厚をリアルタイムにモニタリングし、
高品質・高歩留まりの生産を実現します。
┃対応工程
塗布工程
塗布膜の膜厚をリアルタイムに測定し、塗布量を最適化
蒸着工程
蒸着膜の均一性を確保」し、プロセスの安定化に貢献
スパッタ工程
スパッタ膜の膜厚制御を強化し、再現性の高い生産を実現
機能性フィルム
各種機能性フィルムの品質管理と歩留まり向上をサポート
┃ライン導入イメージ
塗布機／蒸着装置／スパッタ装置
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オンライン測定
リアルタイム膜厚測定
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データ解析
膜厚測定・トレンド解析
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PLC・MES連携
工程制御・データ連携
┃主な特長
膜厚分布の可視化
面内の膜厚分布を可視化し、均一性を向上
膜厚分布の可視化
面内の膜厚分布を可視化し、均一性を向上
工程ドリフト検知
膜厚のドリフトを早期検知し、不良の未然防止に貢献
既存ライン連携
既存装置やシステムとスムーズに連携可能
┃想定用途
- バリア膜
- 封止膜
- 透明導電膜
- 機能性薄膜