ペロブスカイト太陽電池向け
オンライン膜厚測定
コーティング・乾燥工程を非接触・非破壊で
リアルタイムに膜厚モニタリング
非接触・非破壊
製品に触れずに測定プロセスを中断しません
ナノレベル測定
ナノメートルオーダーの高精度膜厚測定を実現
ミリ秒フィードバック
リアルタイムでフィードバックしプロセス制御に即時反映
┃コーディング・乾燥プロセスをリアルタイムにモニタリング
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┃主な用途
スロットダイ塗布
塗布量のリアルタイム監視で塗布条件の最適化を実現
膜厚均一性評価
幅方向・長手方向の膜厚分布を可視化し、均一性を向上
量産ライン工程管理
工程内の膜厚変動を早期検知し、歩留まり向上に貢献