導入事例・PoC検証
機密保持のため、企業名および詳細情報は非公開としております。
・CASE ０１
ペロブスカイト関連コーティングラインにおける膜厚モニタリング
- 課題
膜厚のリアルタイム管理ができず、歩留まり低下
- 課題
塗布・乾燥・スロットダイコート工程
- 確認できた内容
膜厚変動の傾向把握、および工程内での見える化の可能性を確認
・CASE ０２
成膜（スパッタ）プロセスにおける膜厚分布の評価
- 課題
ウエル全体の膜厚均一性を把握したい
- 課題
スパッタ成膜工程
- 確認できた内容
面内膜厚分布を高精度に可視化し、均一性向上の指標を取得
・CASE ０３
機能性膜／バリア膜の膜厚安定性評価
- 課題
長時間運転で膜厚変動が不明確
- 課題
成膜～冷却・巻取り工程
- 確認できた内容
長時間の膜厚トレンドを把握し、工程安定の改善をご検討
PoC検証の流れ
❶
課題確認
お客様の課題はご要望をヒアリング
➡
❷
測定可否確認
サンプルや条件を基に測定可否を検証
➡
❸
現場評価
実機・実ラインで評価を実施
➡
❹
レポート提出
測定結果と改善提案をレポートで提供
➡
❺
導入検討
ご評価内容を基に、導入をご相談
ご相談例
測定可否確認
サンプル測定可否を判断したい
ライン導入前評価
導入前に効果・精度を検証したい
工程安定化の検討
膜厚ばらつきや変動を改善したい